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半導体パラメトリック試験システム
ケースレーのS530半導体パラメトリック試験システム は、プロセスモニタ、プロセス信頼性モニタ、デバイス特性評価で要求されるすべてのDCおよびC-V測定を扱うことができ、幅広いデバイスと技術に対する製造ならびに研究開発で使用できるように設計されています。
S530シリーズ パラメトリック試験システム
  • 10mAで最大1000Vを印加
  • 高電圧でのリークおよびブレークダウン試験
  • 低リーク測定品位
  • pA電流測定機能
  • 20W SMUが最大1Aまたは200Vを提供
  • 最大7台のSMUおよび32DUTピンを構成可能
  • オプションのアダプタでプローブまでガードを延長
  • 一般的な全自動プローバとの互換性
  • 最大2MHzのC-V測定
S530シリーズ パラメトリック試験システム
  • pA電流測定機能
  • 低リーク測定品位
  • 20W SMUが最大1Aまたは200Vを提供
  • 最大8台のSMUおよび60DUTピンを構成可能
  • オプションのアダプタでプローブまでガードを延長
  • 一般的な全自動プローバとの互換性
  • 最大2MHzのC-V測定
 
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